碳化硅研磨液

碳化硅研磨液

碳化硅研磨液


钻石粗磨液

1. 应用领域

本产品主要用于碳化硅晶片的粗磨减薄。

2. 产品规格

产品类型 粒度规格 磨料类型 性质
DPI-SiC D50=2-4μm 单晶金刚石 稳定悬浮,水溶性载体

可根据客户特殊要求进行定制。

3. 产品特点

(1)产品搭配铸铁盘使用能够实现火爆社区黄应用高去除率的同时保证碳化硅晶片质量(Warp值,翘曲度,TTV);

(2)产品具有良好的防锈性能;

(3)产品对金刚石磨料悬浮性稳定,长时间放置无明显的沉降现象;

(4)严格的质量控制,确保产品质量的一致性和稳定性。


钻石精磨液 

1. 应用领域

本产品主要用于碳化硅晶片等的精磨抛光。

2. 产品规格

产品类型 粒度规格 磨料类型 性质
DPP-SiC D50=2-4μm 多晶/类多晶 稳定悬浮,水溶性载体
D50=0-1μm 多晶/类多晶 稳定悬浮,水溶性载体
D50=0.2μm 类多晶 稳定悬浮,水溶性载体

可根据客户特殊要求进行定制。

3. 产品特点

(1)产品搭配专门的碳化硅精磨垫使用达到高去除率,提升效率;

(2)精磨加工后的碳化硅晶片表面质量高(粗糙度,划伤,亚表面损伤层等参数);

(3)水溶性载体配方,具有较好清洗性能;

(4)产品的悬浮稳定性好;

(5)产品相较于常规的水基配方,润滑性能更优。


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